Вакуумметры цифровые

Вакуумметры цифровые с натекателем (исполнение для встраивания в стойку 19’

Назначение

Вакуумметр цифровой с натекателем предназначен для поддержания давления газов в вакуумной камере в широком диапазоне (от 133 до 10-5 Па) за счёт подачи одного газа или нескольких газов (до 3 в заданной пропорции) в режиме автоматического регулирования.

Основные области применения:

• Научно-исследовательские лаборатории: Измерение и поддержание давления и концентрации газов в вакуумной камере в экспериментальных установках в пределах требуемых значений;
• Полупроводниковая промышленность: Поддержание требуемой концентрации газов при производстве микросхем;
• Электроника: Создание требуемых условий в вакуумных камерах во время производства и испытаний электронных компонентов;
• Металлообработка и нанесение покрытий: Создание и поддержание требуемых условий в вакуумной камере для процессов вакуумного магнетронного, термического и других видов напыления материалов;

Технические характеристики вакууметров

• Диапазон измеряемых вакуумметром давлений газов (азот) — от 133 до 10-5 Па. Допускается использование вакуумметра для измерения давления других газов, но с учетом пересчетных коэффициентов для этих газов;
• Вакуумметр работает с термопарными преобразователями ПMT-2, ПMT-4M, ZJ-51 и ионизационными преобразователями ПМИ-2, ПМИ-51, ПМИ-10-2, ZJ-10;
• Программно предусмотрена индикация в разных единицах измерении (мм. рт. ст. (торр), Па);
• Количество каналов натекателя 1-3;
• Время отклика ионизационного датчика — 0,1 сек;
• Интерфейс связи и управления — RS485 MODBUS RTU;
• Наличие программы контроля и управления для ПК с возможностью вывода и сохранения трендов по давлению в вакуумной камере и расходам газов;
• Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением от 187 до 242 В, частотой (50+1) Гц, режим работы — непрерывный;
• Потребляемая мощность (без персонального компьютера), не более — 60 ВА;
• Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), не более — 443x460x177 мм.