Вакуумметры цифровые
Цифровые вакуумметры предназначены для использования в различных отраслях промышленности и научных исследованиях, где требуется точность и стабильность давления газов в вакуумных камерах при проведении экспериментов или производственных процессов.
Вакуумметры цифровые с натекателем (исполнение для встраивания в стойку 19’
Назначение
Вакуумметр цифровой с натекателем предназначен для поддержания давления газов в вакуумной камере в широком диапазоне (от 133 до 10-5 Па) за счёт подачи одного газа или нескольких газов (до 3 в заданной пропорции) в режиме автоматического регулирования.
Основные области применения:
- Научно-исследовательские лаборатории: Измерение и поддержание давления и концентрации газов в вакуумной камере в экспериментальных установках в пределах требуемых значений;
- Полупроводниковая промышленность: Поддержание требуемой концентрации газов при производстве микросхем;
- Электроника: Создание требуемых условий в вакуумных камерах во время производства и испытаний электронных компонентов;
- Металлообработка и нанесение покрытий: Создание и поддержание требуемых условий в вакуумной камере для процессов вакуумного магнетронного, термического и других видов напыления материалов;
Технические характеристики вакууметров
- Диапазон измеряемых вакуумметром давлений газов (азот) — от 133 до 10-5 Па. Допускается использование вакуумметра для измерения давления других газов, но с учетом пересчетных коэффициентов для этих газов;
- Вакуумметр работает с термопарными преобразователями ПMT-2, ПMT-4M, ZJ-51 и ионизационными преобразователями ПМИ-2, ПМИ-51, ПМИ-10-2, ZJ-10;
- Программно предусмотрена индикация в разных единицах измерении (мм. рт. ст. (торр), Па);
- Количество каналов натекателя 1-3;
- Время отклика ионизационного датчика — 0,1 сек;
- Интерфейс связи и управления — RS485 MODBUS RTU;
- Наличие программы контроля и управления для ПК с возможностью вывода и сохранения трендов по давлению в вакуумной камере и расходам газов;
- Электрическое питание от однофазной сети переменного тока напряжением от 187 до 242 В, частотой (50+1) Гц, режим работы — непрерывный;
- Потребляемая мощность (без персонального компьютера), не более — 60 ВА;
- Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), не более — 443x460x177 мм.
Оставить заявку
Вам может быть интересно
Наши партнеры